干式真空泵的應(yīng)用范圍
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發(fā)布日期：2017-05-17
現(xiàn)在干式真空泵越來越受到人們的歡迎，應(yīng)用范圍也越來越廣，具體都應(yīng)用在哪些領(lǐng)域呢？下面的文章為大家介紹一下。
1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；
4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等；
5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
